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具有用于激光图案化的集成光热阻挡层的薄膜结构和装置

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通过激光直接图案化选择性除去诸如太阳能电池、电致变色装置和薄膜电池之类的薄膜结构和装置的指定层是通过将光热阻挡层包括在紧邻于待由激光烧蚀除去的指定层的装置/结构堆叠中来实现的。光阻挡层是吸收或反射穿透介电层/半导体层的一部分激光能量的金属层，并且热阻挡层是具有足够低的热扩散系数的导电层，以减少流入下层金属层的热量，使得下层金属层的温度达不到熔化温度T

著录项

公开/公告号CN103733311B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-19

原文格式PDF
申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201280038837.4
发明设计人宋道英;冲·蒋;秉·圣·利奥·郭;约瑟夫·G·戈登;
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申请日2012-08-08
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:30:42

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-04-19

授权

授权
2014-09-03

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/301 申请日:20120808

实质审查的生效
2014-09-03

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/301 申请日:20120808

实质审查的生效
2014-04-16

公开

公开
2014-04-16

公开

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