法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-12
授权
授权
2017-11-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J4/00 申请日:20170612
实质审查的生效
2017-11-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 4/00 申请日:20170612
实质审查的生效
2017-10-03
公开
公开
2017-10-03
公开
公开
2017-10-03
公开
公开
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机译: 基于相位调制的双均质激光干涉仪纳米位移测量装置及方法
机译: 基于相位调制的双激光单频干涉仪纳米位移测量装置及方法
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