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用于薄膜嵌段共聚物的取向控制的酸酐共聚物的面涂层

摘要

本发明牵涉可旋涂在嵌段共聚物薄膜上的无规共聚物面涂层和用于控制面涂层‑嵌段共聚物界面的界面能的用途。该面涂层可溶于含水弱碱中,且通过它们沉积在嵌段共聚物薄膜上,则表面能可发生变化。使用自组装的嵌段共聚物生产高级平版印刷图案依赖于它们在薄膜内的取向控制。该面涂层潜在地使嵌段共聚物的取向控制容易实现,否则嵌段共聚物的取向控制会十分困难。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-26

    授权

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  • 2015-02-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20130207

    实质审查的生效

  • 2015-02-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20130207

    实质审查的生效

  • 2015-01-21

    公开

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  • 2015-01-21

    公开

    公开

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