用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构

摘要

本发明涉及用于微细加工原子钟、磁力计和其它装置的多腔汽室结构。一种设备包括具有由一个或更多个通道流体连接的多个腔的汽室。所述腔的至少一个经配置以接收能够分解成一种或更多种气体的第一材料，所述一种或更多种气体包含在汽室内。所述腔的至少一个经配置以接收能够吸收一种或更多种气体的至少一部分的第二材料。汽室可以包括经配置以接收第一材料的第一腔和通过至少一个第一通道流体连接到第一腔的第二腔，其中第二腔经配置以接收气体(一种或更多种)。汽室还可以包括通过至少一个第二通道流体连接到第一腔和第二腔中的至少一个的第三腔，其中第三腔经配置以接收第二材料。