一种光学平行平板玻璃的均匀性绝对测量方法

摘要

本发明公开了一种光学平行平板玻璃的均匀性绝对测量方法，属于光学干涉测量领域。该方法包括三个步骤：第一步、将待测光学平行平板放入测量光路，测量由光学平行平板前后表面形成的干涉腔的波面偏差；第二步、将光学平行平板放入由参考平晶工作面和反射平晶工作面构成的干涉测量腔中，测量透过上述光学平行平板后反射回来的波像差；第三步、将待测光学平行平板从干涉测量腔中移除，测量由参考平晶工作面和反射平晶工作面构成的干涉测量腔的波面偏差；然后根据三次测量结果计算待测光学平行平板的均匀性分布。本方法步骤少、操作简单、精度高，可以用于激光器工作物质、航天器窗口玻璃的光学平行平板折射率均匀性分布的高精度测量。