一种大型重载超精密卧式空心气浮转台

摘要

一种大型重载超精密卧式空心气浮转台，属于大型超精密工件的加工技术领域。主轴的一端与副轴通过主轴修研环连接，主轴与副轴同轴设置，主轴外侧沿轴向装有两个气浮轴承，两个气浮轴承与主轴同轴设置且二者之间留有间隙，两个气浮轴承通过花岗岩基座支撑，花岗岩基座内部设有多个相互连通的通气孔，每个气浮轴承内部设有多个相互连通的气槽，设置在花岗岩基座内部的多个通气孔与外部气源连通的同时，还与每个气浮轴承的多个气槽连通，电机转子座固定装在主轴另一端上，直驱电机的定子部分通过电机定子座固定在花岗岩基座上，直驱电机的转子部分安装在电机转子座上，圆光栅和绝对值圆光栅均安装在电机定子座上。本发明用于大型超精密工件的加工。