一种用于半导体生产线基于简化仿真模型的高效调度规则选择方法

摘要

本发明公开一种用于半导体生产线基于简化仿真模型的高效调度规则选择方法，属于半导体生产调度与控制技术领域；本方法选取能够表征仿真模型中设备重要程度的关键特征及相关数据并进行数据预处理；采用选择性聚类集成算法将模型中的设备按照设备重要程度分为重要设备、普通设备和非重要设备；根据聚类结果从仿真模型中删除非重要设备，建立简化的仿真模型并采用一种闭环修正结构保证简化模型的精确度；在某一调度时刻，分别以准时交货率和产出量为调度目标，利用简化的仿真模型对调度规则集中的调度规则进行快速评价，获得最优调度规则。利用本发明能够快速为复杂的半导体生产过程选择最优的调度规则，改善半导体生产线的性能。