解决芯片制造中金属层标记影响成品率的方法

摘要

本发明公开了一种解决芯片制造中金属层标记影响成品率的方法，其特征在于：它主要通过中央控制系统和工控机连接全闭环振镜控制系统，对加工工件进行处理，首先，工控机通过与中央控制系统进行交互把需要加工的工艺文件下载到工控机，然后工控机把需要加工的工艺数据传输给全闭环振镜控制系统；全闭环振镜控制系统一边控制高精度皮秒激光器出光，一边控制高精度数字振镜系统来对加工工件机型扫描，从而把激光器发出激光通过振镜系统射到被加工工件的预定位置。本发明具有提高成品率，精度高等优点。