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一种基于曲线长度的太阳能电池生产过程变化的检测方法

摘要

本发明公布了一种太阳能电池生产过程变化的检测方法,针对多通道传感器温度信号,基于温度曲线长度,通过特征提取与变化检测获得太阳能电池生产过程中的变化;包括:根据工艺曲线对双通道温度数据进行分段,得到有光伏材料层生长的温度曲线段;提取温度曲线段的长度特征;根据曲线长度特征进行变点检测,得到显著的温度变化点,进一步预测温度显著变化点处太阳能电池的光电转化效率变化的方向。本发明方法可以有效地在外延阶段提前发现过程变化,使工厂可以提前做出相应的补救措施,以避免不必要的浪费。

著录项

  • 公开/公告号CN107204301B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京大学;

    申请/专利号CN201710320896.5

  • 发明设计人 杜娟;张玺;欧伟;

    申请日2017-05-09

  • 分类号

  • 代理机构北京万象新悦知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄凤茹

  • 地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号

  • 入库时间 2022-08-23 10:28:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-02

    授权

    授权

  • 2017-10-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20170509

    实质审查的生效

  • 2017-10-27

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20170509

    实质审查的生效

  • 2017-09-26

    公开

    公开

  • 2017-09-26

    公开

    公开

  • 2017-09-26

    公开

    公开

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