法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-02
授权
授权
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20170509
实质审查的生效
2017-10-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20170509
实质审查的生效
2017-09-26
公开
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2017-09-26
公开
公开
2017-09-26
公开
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