差分电容位移量的转换和细分方法及电容型线性位移测量系统

摘要

本发明是差分电容位移量的转换和细分方法及电容型线性位移测量系统。1.用差分电容位移量的转换基准求解位移量，无需调制、解调、放大器、A/D等，测量和细分简便精确；2.把差分电容变化量转换为脉冲宽度量，其电路无需调零，无噪声、无寄生和零漂等干扰，量程不限，它只与串接电阻有关；3.用上说方法和电路提出一种电容型线性位移测量系统，它是大量程的绝对位置测量，传感器和电路都简单的全数字型、精度高、稳定性好，能在水、油、灰尘污染等恶劣环境中使用，优于光栅和球栅等；4.把传感器、电路、和显示件等集成一体的微型(MEMS)器件，精度是纳米级，能精确测量MEMS的机械位置、位移、速度、振幅和頻率等运动参数，参数变换是遥控。