一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统，包括：含油氢气缓冲罐；氢气压缩机，与含油氢气缓冲罐连接；氢气淋洗塔，与氢气压缩机连接，氢气淋洗塔还设置有入口用于通入多晶硅生产过程中的含尘氢气，氢气淋洗塔用于使用通入的氯硅烷作为淋洗液进行淋洗；第一过滤器，与氢气淋洗塔的塔釜连接，第一过滤器用于进行过滤，得到过滤后的氯硅烷。上述系统避免了含尘氢气中的硅尘对于氢气压缩机的磨损损坏，解决了长时间运行后的氢气压缩机的维护困难的问题，且该系统可以同时处理含尘氢气和含油氢气，得到的回收氢气的纯度大大提高，减少氢气损耗和电解槽开启台数，提高系统平稳性，进而提高再利用氢气制备得到的多晶硅的纯度。