法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-22
授权
授权
2017-12-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01V3/40 申请日:20170719
实质审查的生效
2017-12-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01V 3/40 申请日:20170719
实质审查的生效
2017-11-24
公开
公开
2017-11-24
公开
公开
2017-11-24
公开
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机译: 一种用于制造半导体组件的高精度的自动化方法。
机译: 一种用于制造半导体组件的高精度的自动化方法。
机译: 一种用于制造半导体组件的高精度的自动化方法。