基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀的装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于高压淹没空化水射流的微零件冲压及刻蚀装置及方法，其特征在于利用高压淹没空化水射流中空泡溃灭产生的高压冲击波、高速微射流和局部高温，并结合相应的模具来对微零件进行冲压或刻蚀加工，冲压或累积刻蚀形成所需要的形状。用于产生高压淹没空化水射流的装置，包括蓄水池系统，定量泵‑蓄能器‑卸荷阀恒压能源系统，空化水射流发生系统，高压淹没加工系统，循环回路系统和相关外围设备；本发明不同于常规的加工方法，其丰富了微零件冲压和刻蚀的加工方法，冲压的程度和精度、刻蚀加工的精度和效率得到较大提高，且整个装置结构简单，易操作，易维护，成本较低，对环境友好。