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聚焦伺服装置和聚焦伺服方法

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控制装置(25)的焦点识别装置(35)控制致动驱动器(38)，由致动器(12)使物镜(3)沿着光轴方向振动。振动时，信号识别装置(46)调查来自信号发生装置(27)的聚焦误差信号的输出，若有信号，则判断为存在工件。如果有工件，焦点识别装置(35)通过致动器(12)使物镜(3)沿着光轴移动，参考聚焦误差信号和来自位置检测装置(49)的位置信号识别焦点位置，使物镜(3)移动到焦点位置来进行聚焦。

著录项

公开/公告号CN1310224C

专利类型发明授权
公开/公告日2007-04-11

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社三丰;
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申请/专利号CN02141396.7
发明设计人片冈正信;根本纪一郎;
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申请日2002-06-11
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人孙敬国
地址日本神奈川县
入库时间 2022-08-23 08:59:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-07-31

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 7/09 授权公告日:20070411 终止日期:20120611 申请日:20020611

专利权的终止
2007-04-11

授权

授权
2004-07-14

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-01-15

公开

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