数字伺服聚焦非接触位移传感器的研究

摘要

研究了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器,它具有很好的静动态特性.音圈电机采用两次精确找焦的方法得到焦点的位置,利用数字伺服控制方法,对于不同的材料表面及有一定角度的表面检测失焦时进行特殊处理,使得该传感器能够精确快速找到焦点。