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数字伺服聚焦非接触位移传感器的研究

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摘要

本文介绍了一种以整体线切割设计的音圈电机为驱动的聚焦式位移传感器,它具有良好的静动态特性.通过音圈电机以两次精确找焦的方法来确定焦点的位置,同时配合数字伺服控制方法并对于不同的材料表面及在有一定角度的表面检测失焦时进行特殊处理,能使得该传感器能够精确快速找到焦点.

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来源
《传感器世界》 |2005年第8期|6-9|共4页
作者
邹华东; 谢铁邦;
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作者单位

华中科技大学;

华中科技大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212.12;
关键词
传感器; 表面形貌; 数字伺服; 自动聚焦;

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