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一种太阳能硅晶片缺陷检测系统及方法

摘要

本发明提供了一种太阳能硅晶片缺陷检测系统,包括:视觉图像采集系统、图像处理系统和分拣系统;所述视觉图像采集系统用于在硅晶片自动生产线上自动采集硅晶片的图像,所述图像处理系统用于分析采集到的硅晶片图像,并对硅晶片图像进行自动识别,并将识别的信号发送至分拣系统,分拣系统用于执行图像处理系统的信号,分拣出有缺陷的硅晶片,并将相同缺陷的硅晶片分拣至相同的分拣箱内,实现硅晶片的精准分拣。本发明还提供了一种基于本发明提供的太阳能硅晶片缺陷检测系统所进行的检测方法,能快速地传送硅晶片以及对硅晶片图像进行缺陷快速检测,满足流水线高速高精度的视觉检测要求。

著录项

  • 公开/公告号CN106409711B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-03-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201610817746.0

  • 申请日2016-09-12

  • 分类号H01L21/66(20060101);H01L21/67(20060101);

  • 代理机构44416 广州胜沃园专利代理有限公司;

  • 代理人张帅

  • 地址 528200 广东省佛山市高新区产业智库城

  • 入库时间 2022-08-23 10:27:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-03

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20191217 变更前: 变更后: 申请日:20160912

    专利申请权、专利权的转移

  • 2019-03-12

    授权

    授权

  • 2019-03-12

    授权

    授权

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160912

    实质审查的生效

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160912

    实质审查的生效

  • 2017-03-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160912

    实质审查的生效

  • 2017-02-15

    公开

    公开

  • 2017-02-15

    公开

    公开

  • 2017-02-15

    公开

    公开

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