法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20191217 变更前: 变更后: 申请日:20160912
专利申请权、专利权的转移
2019-03-12
授权
授权
2019-03-12
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160912
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20160912
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160912
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
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机译: 硅晶片缺陷检测方法及硅晶片缺陷检测系统
机译: 硅晶片芯片检验方法及硅晶片缺陷检测系统
机译: 太阳能电池用硅晶片的纹理化方法,由其纹理化的太阳能电池用硅晶片以及包括该硅晶片的太阳能电池