在基板支架的两个相背离的宽侧分别支承基板的基板支架

摘要

本发明涉及一种基板支架和一种与基板支架共同作用的CVD反应器，用于布置在CVD反应器或PVD反应器(20)内，尤其用于沉积碳纳米管和石墨，所述基板支架具有用于容纳待涂覆的基板(6)的第一宽侧面(2)和与第一宽侧面(2)相背离的第二宽侧面(3)。为了优化用于沉积碳纳米管的设备或设备的部件，在此建议，所述第一宽侧面(2)和第二宽侧面(3)分别具有基板容纳区域(4、5)，在所述基板容纳区域(4、5)中设有固定件(14、14’、15)，基板(6)或基板(6)的区段借助所述固定件(14、14’、15)能够固定在相应的宽侧面(2、3)上。此外，本发明还涉及一种具有基板支架(1)的CVD反应器。