首页> 中国专利> 一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法

一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法

摘要

本发明提供一种单晶硅的自动点胶固化装置及自动点胶固化方法,所述自动点胶固化装置包括单晶硅自动粘接机以及控制系统,所述单晶硅自动粘接机包括出料端,所述自动点胶固化装置还包括用以固化所述硅片的固化装置,所述固化装置包括与所述出料端相连接的初步固化装置、对经初步固化装置初步固化后的硅片进行二次固化的固化室以及将硅片自初步固化装置移动至固化室内的机械手系统;所述初步固化装置包括支架、安装在所述支架上的传送部以及驱动所述传送部的驱动装置,所述硅片自所述传送部靠近所述出料端的一端运行至所述传送部远离所述出料端的一端后初步固化完成;以实现硅片的全自动化生产,节约人力成本且避免硅片的损坏,造成损失。

著录项

  • 公开/公告号CN106206379B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-02-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州高登威科技股份有限公司;

    申请/专利号CN201610600935.2

  • 发明设计人 沈皓然;

    申请日2016-07-28

  • 分类号H01L21/67(20060101);H01L21/687(20060101);H01L21/677(20060101);B05C5/02(20060101);B05C13/02(20060101);B05D3/06(20060101);

  • 代理机构32235 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人杨林洁

  • 地址 215000 江苏省苏州市工业园区夏庄路88号

  • 入库时间 2022-08-23 10:26:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-22

    授权

    授权

  • 2017-01-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20160728

    实质审查的生效

  • 2017-01-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160728

    实质审查的生效

  • 2016-12-07

    公开

    公开

  • 2016-12-07

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号