原位固-液相界面化学反应的自对准装置

摘要

本发明公开了一种原位固‑液相界面化学反应的自对准装置，包括间隔层(300)、第一绝缘膜(510)、第二绝缘膜(520)以及两侧对应密封结合的上芯片(100)和下芯片(200)；上芯片(100)具有朝向下芯片(200)凸起的凸台(110)，下芯片(200)具有朝向上芯片(100)下凹的凹槽(210)；间隔层(300)夹设于凸台(110)表面的第一绝缘膜(510)和凹槽(210)内壁的第二绝缘膜(520)之间。该自对准装置可应用于常规TEM样品台，免除了特制样品杆的需求，大幅降低了测试成本；同时，待测液体量较少，可防止第一绝缘膜(510)和/或第二绝缘膜(520)破裂对其他部件的损坏。