原位测量固-液相界面电化学反应的芯片组件

摘要

本发明公开了一种原位测量固‑液相界面电化学反应的芯片组件，包括第一电极(310)、第二电极(320)、第一绝缘膜(510)、第二绝缘膜(520)、第三绝缘膜(530)、第四绝缘膜(540)以及相对设置且两侧对应密封结合的上芯片(100)和下芯片(200)；上芯片(100)具有通孔(110)；通孔(110)下的第一绝缘膜(510)上设有第一电极(310)；下芯片(200)具有与通孔(110)相对的凹槽(210)；凹槽(210)一侧的第四绝缘膜(540)上设有第二电极(320)。该芯片组件无需特制样品杆，大幅降低测试成本；同时，第一电极(310)具有的栅格结构还有利于对待测样品的形貌变化进行观察。