一种基于飞秒激光的菲涅尔波带片阵列制作方法及应用

摘要

一种基于飞秒激光的菲涅尔波带片阵列制作方法及其在微纳结构加工中的应用。包括利用飞秒激光直接加工菲涅尔波带片阵列，以及飞秒激光经加工好的菲涅尔波带片阵列聚焦后直接加工微结构。通过该方法我们能制作各种不同排列方式的菲涅尔波带片阵列，并基于这些波带片阵列加工与其排列方式相对应的微结构阵列。该方法具有加工效率高、加工方法简单、灵活性好等特点。