基于频率可变脉冲技术的器件表面态陷阱测量方法

摘要

本发明公开了一种基于频率可变脉冲技术的器件表面态陷阱测量方法，主要解决现有技术无法测量器件表面态陷阱分布的问题。其实现方案是：在与被测器件电极下相同的半导体材料表面制备两个肖特基接触电极，完成测试图形的制作；对测试图形施加不同频率的脉冲电压，测量施加电压过程中流过两个电极的电流；通过测量结果计算，得到测试图形表面态陷阱俘获的电子数量，根据测试图形和被测器件具有相同表面状态的特性，将得到的测试图形结果作为在不同频率电压下测量器件表面态陷阱的分布。本发明测试测试方法简单，测试精度高，可用于异质节晶体管的工艺优化和可靠性分析。