在研磨以提高工件平面度特征的过程中用来约束工件及施加可变压力的多室柔性装置

摘要

一种对多行磁记录头研磨的装置和方法，它使用多个具有可变压力的流体填充孔，这些孔靠着柔性胶带以便固定并支撑所述行。该带提供必要的切向约束力沿着研磨板拖拉工件。在带下的多个孔提供必要的垂直力将工件压向研磨板以便进行研磨。该行的材料去除量通过调整孔内压力而改变，使得更高的压力施加到那些具有更高带高的磁头上，较低的压力施加到具有较低带高的磁头上。为了设定或调整孔压，进行读入传感器电阻测量以便计算带高。该带高大致与电阻成反比例。