法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
授权
授权
2016-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20160419
实质审查的生效
2016-09-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20160419
实质审查的生效
2016-08-17
公开
公开
2016-08-17
公开
公开
机译: 一种通过滚动零件表面,特别是旋转对称或非旋转对称旋转的零件进行加工硬化的方法
机译: 带有锥形反射镜的收集器,特别是用于波长小于或等于126 nm的照明系统,其反射镜段的对称轴相对于旋转轴倾斜非零角度
机译: 用于微光刻投影照明系统的投影透镜,具有致动装置,通过该致动装置,弯曲的平面偏转反射镜可精确地围绕弯曲轴校正非旋转对称像差