法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-12
授权
授权
2015-12-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/762 申请日:20150824
实质审查的生效
2015-12-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/762 申请日:20150824
实质审查的生效
2015-11-18
公开
公开
2015-11-18
公开
公开
机译: 砷化镓衬底的制造方法,砷化镓衬底及其使用方法
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