改造线切割机砂浆喷布系统成功降低砷化镓衬底翘曲度

摘要

砷化镓(GaAs)是继硅之后被研究最深入、应用最广泛的半导体材料,被广泛应用于光电子和微电子领域.2015年年底,中国电子科技信团公司第四十六研究所陆续突破了4英寸SI-GaAs衬底制备的一系列关键技术,使其研制的衬底顺利通过了中国电科55所pHEMT器件验证.目前研制的4英寸SI-GaAs衬底的翘曲度大幅改善,通过对比测试与进口产品基本一致.