法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-29
授权
授权
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/54 申请日:20161210
实质审查的生效
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20161210
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
2017-05-31
公开
公开
机译: 记录中膜厚检测装置,图像形成装置,记录中膜厚检测方法,记录中膜厚检测方法的程序以及记录中膜记录程序
机译: 膜厚不规则检测装置及方法,以及具有膜厚不规则检测装置和膜厚不规则检测方法的涂布装置
机译: 膜厚均匀性的评价方法和装置以及膜厚自动控制方法和装置