一种离轴反射式太赫兹成像系统的装调检测仪及其装调方法

摘要

本发明公开了一种离轴反射式太赫兹成像系统的装调检测仪及其装调方法，该装调检测仪包括激光器、面光源、空间分辨板、底座，激光器通过激光器支座安装于底座的一端，面光源通过面光源支座安装于底座的另一端，空间分辨板安装于底座上且位于面光源之前，面光源和空间分辨板的中心和十字交叉光束的中心线大致重合，激光器和面光源两者发出的光束方向相反。本发明通过检测仪发出的十字交叉光束测出太赫兹成像系统各成像元件水平和垂直方向的位置以及角度的偏移量并进行调整；通过面光源和空间分辨板测出太赫兹成像系统的像平面位置，能快速准确地将太赫兹成像系统装调到位，大大提高了太赫兹成像系统的研发效率；且通用性好，成本极低，便于推广。