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使用弯曲成螺旋线或双螺旋线电敏装置的传感器

摘要

本发明的各种传感器采用与检测电路电连接的电敏装置(11)。电敏装置(11)包括围绕短轴(13)弯曲成螺旋线的连续电敏元件(12)形式的电敏结构,所述短轴(13)本身是弯曲的,例如围绕长轴(14)弯曲成螺旋线。当装置(11)的端部(16)发生相对运动而受到激励时,由于短轴(13)是弯曲的,因此,电敏结构就围绕短轴进行扭转。连续元件(12)具有由多个层(21和22)构成的弯曲结构,所述的层包括至少一个电敏材料层,从而伴随着扭转,连续元件(12)进行弯曲而产生可由检测电路进行检测的电信号。电敏装置(11)优选地用作传感器中的传感元件,因为它具有较大的位移、较高的灵敏度和较低的柔度。

著录项

  • 公开/公告号CN1302259C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2007-02-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 1...有限公司;

    申请/专利号CN02816270.6

  • 申请日2002-06-19

  • 分类号G01D5/12(20060101);H01L41/09(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人蔡民军

  • 地址 英国剑桥

  • 入库时间 2022-08-23 08:59:25

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-09-01

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01D 5/12 授权公告日:20070228 申请日:20020619

    专利权的终止

  • 2007-02-28

    授权

    授权

  • 2005-01-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-11-10

    公开

    公开

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