一种采用变温变掺杂流量的双极型晶体管外延片制造方法

摘要

本发明公开了一种采用变温变掺杂流量的双极型晶体管外延片制造方法，采用变温变掺杂工艺，低的起始生长温度和高的N型掺杂流量可以有效控制B原子的蒸发，随着外延层的加厚，逐步抑制外延的自掺杂。后续减小掺杂流量有效降低外延层N型杂质的过度掺杂，保证产品外延层要求的过渡区可控，同时提高生长温度可以抑制图形漂移。