四乙基对环苯烷类分子级敷型涂层材料及其应用

摘要

本发明公开了一种结构式如式Ⅰ所示的四乙基对环苯烷类分子级敷型涂层材料及其应用，本发明形成的保护膜，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力，电绝缘性和防护性优异具有良好的物理和机械性能，摩擦系数低、耐溶剂性能和耐酸碱特性优良，应用广泛，在MEMS领域、电子行业、在微电子和光波导方面应用前景明确，应用在MEMS领域用做钝化、防护、润滑等涂层；应用在微电子、半导体领域做高纯度的钝化层和介质层，混合电路绝缘和隔离保护；应用在生物医学防腐及文物保护等领域作为隔离、固化、加固材料等。