公开/公告号CN105826219B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-04
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社思可林集团;
申请/专利号CN201610045888.X
申请日2016-01-22
分类号H01L21/67(20060101);
代理机构72003 隆天知识产权代理有限公司;
代理人宋晓宝;向勇
地址 日本国京都府京都市
入库时间 2022-08-23 10:24:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-04
授权
授权
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20160122
实质审查的生效
2016-08-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160122
实质审查的生效
2016-08-03
公开
公开
2016-08-03
公开
公开
机译: 双流体喷嘴以及使用该喷嘴的基板处理装置和基板处理方法
机译: 形成接缝的方法,该接缝包括用于围绕旋转轴旋转的滚筒,移动的辊砧,第一基板和第二基板,第一基板和第二基板围绕滚筒的一部分包裹,以加热流体,移动将流体喷嘴从鼓中取出,将热流体射流引导到第一和第二基板上;收回滑动元件流体喷嘴,压力机,并压缩第一和第二基板;仪器。
机译: 两种流体喷嘴和基板液体处理装置以及基板液体处理方法