一种亮场扫描设备自动定义扫描区域的检测方法

摘要

一种亮场扫描设备自动定义扫描区域的检测方法，包括：步骤S1：利用亮场扫描设备的光学系统对芯片内的不同区域进行亮度数字化，获得针对不同区域之相应的灰阶值；步骤S2：根据不同区域之相应的灰阶值作出定义，并反馈至亮场扫描设备；步骤S3：亮场扫描设备对整个芯片进行光学扫描，且进行亮度数字化，并根据定义作出判断，自动界定芯片中的类似灰阶值的区域。本发明亮场扫描设备自动定义扫描区域的检测方法不仅操作简单，自动归类，而且有效的减少了人工操作带来的错误，提高了生产效率和准确度，值得推广应用。