布局图案以及包含该布局图案的掩模

摘要

本发明公开了一种布局图案以及包含布局图案的掩模。布局图案包括多个主要图案以及至少一辅助图案。主要图案相互平行且沿第一方向延伸。辅助图案位于最外侧的两个主要图案之间并连接所述两个主要图案，且以第二方向排列。第二方向与第一方向不同。