用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法

摘要

本发明涉及用于移除位于壳体中的表面上的金属沉积物的方法。所述方法包括以下步骤：步骤a)氧化金属沉积物；步骤b)注入适于使氧化的金属沉积物挥发的化学物质，在步骤a)期间至少部分地实施所述步骤b)。所述移除方法的特征在于，在步骤b)中，根据脉冲序列注入化学物质。