一种用于在管腔内壁喷涂TiO₂纳米涂层的装置

摘要

本发明公开一种用于在管腔内壁喷涂TiO₂纳米涂层的装置，包括介质阻挡放电等离子体发生器、钛源、电动机、高压电源，其特征是介质阻挡放电等离子体发生器的介质为可塑形的中空电介质管，并根据需镀膜管腔的管径及弯曲程度进行设计。等离子体发生器可伸入管腔内部并激发产生高电子密度的荆棘状低温等离子体，使得钛源与工作气体充分作用并喷涂于管腔内壁，得到具有自清洁功能的二氧化钛纳米涂层。使用本装置喷涂TiO₂纳米涂层，克服了传统方法只能在平面基底上镀膜的缺点。此外，该装置能够高效镀膜，操作简单、成本低，同时臭氧浓度极低，避免了对基底材料的腐蚀和对环境的污染。