太赫兹光源芯片、光源器件、光源组件及其制造方法

摘要

本发明提供一种太赫兹光源芯片、光源器件、光源组件及其制造方法，光源芯片包括：二维电子气台面；形成在二维电子气台面上的用于激发等离子体波的电极；形成在二维电子气台面下方的太赫兹谐振腔，谐振腔底面设置有全反射镜；以及光栅，其形成在二维电子气台面上，用于将等离子体波模式与太赫兹谐振腔腔模相耦合，以产生太赫兹波发射。本发明利用太赫兹谐振腔腔模与光栅下二维电子气内的等离子体波模式的强耦合形成等离极化激元，通过等离极化激元的电学激发产生太赫兹波发射，避免了依靠单个电子的高频振荡或单个电子的量子跃迁产生太赫兹发射存在频率低或工作温度低的问题，扩大了发射频率范围和工作温度范围。