一种光学干涉法球径球度检测仪及检测方法

摘要

本发明涉及一种光学干涉法球径球度检测仪及检测方法，它在基于光学干涉原理，通过判读光学样板球(或球碗)与被测零件之间干涉条纹的数量和形状方法检测球径球度技术的基础上，通过轮盘切换的方式，快速变换和准确定位不同球径的基准光学玻璃样板成为当前工作样板，并由CCD摄像机采集干涉条纹，经图像处理及相关软件计算后，由显示器输出被测零件的球径球度值及其简化后的干涉条纹图形。本发明实现了不同球径被测零件方便、直观、快速地检测，极大地提高了检测效率。