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包含铝合金的具有高铝含量的膜的沉积

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摘要

所提供的是包括铝、碳和金属的膜，其中铝的元素含量是大于约16％的量，且碳含量小于约50％。还提供了沉积所述膜的方法。

公开/公告号CN104718314B

专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-11

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申请/专利权人应用材料公司;
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申请/专利号CN201380054227.8
发明设计人戴维·汤普森;斯里尼瓦斯·甘迪科塔;吕新亮;唐薇;周静;赛沙德利·甘古利;杰弗里·W·安西斯;阿蒂夫·努里;法鲁克·京格尔;吴典晔;张镁;陈世忠;
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申请日2013-10-23
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:22:31

1. 包含铝合金的具有高铝含量的膜的沉积 [P] . 中国专利： CN104718314B . 2018.12.11
2. 一种电泳沉积稀土膜提高铝合金抗蚀性能的方法 [P] . 中国专利： CN101684567B . 2012.05.23
3. Deposition of films comprising aluminum alloys with high aluminum content [P] . 美国专利： US9683287B2 . 2017-06-20

机译：沉积包含高铝含量的铝合金的薄膜
4. DEPOSITION OF FILMS COMPRISING ALUMINUM ALLOYS WITH HIGH ALUMINUM CONTENT [P] . 韩国专利： KR20150076213A . 2015-07-06

机译：包含高铝含量铝合金的薄膜的沉积
5. DEPOSITION OF FILMS COMPRISING ALUMINUM ALLOYS WITH HIGH ALUMINUM CONTENT [P] . 世界知识产权组织专利： WO2014066482A1 . 2014-05-01

机译：包含高铝含量铝合金的薄膜的沉积