利用外部影响在工件的上表面和空腔表面放置的添加剂之间产生差别的电镀方法和设备

摘要

本发明涉及在衬底表面上以非常理想的方式电镀导电材料的方法和设备。本发明去除吸附于工件顶部的至少一种添加剂，多于去除放置在空腔部分上的至少一种添加剂，从而使得导电材料的电镀在添加剂完全重吸附至顶部之前发生，并导致空腔部分相对于顶部电镀更多。