未达到精度要求的中阶梯光栅闪耀角再次精密加工方法

摘要

本发明涉及一种未达到精度要求的中阶梯光栅闪耀角再次精密加工方法，包括闪耀角偏小和闪耀角偏大两种误差的精密加工方法。当中阶梯光栅闪耀角偏小时，通过离子束溅射，使Al原子以特定方式沉积在闪耀面上，增大闪耀角，达到所需要求。当中阶梯光栅闪耀角偏大时，通过离子束刻蚀闪耀面，使闪耀角减小，达到所需要求。在传统方法制作的中阶梯光栅的基础上，通过离子束刻蚀和Al原子沉积修复闪耀角，可以实现中阶梯光栅闪耀角的精密加工，使每一块刻划或复制的中阶梯光栅都能正常使用。