法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
授权
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2017-07-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20121228
实质审查的生效
2017-07-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20121228
实质审查的生效
2017-07-04
公开
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2017-07-04
公开
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2017-07-04
公开
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机译: 基板对置及基板搬运方法,曝光装置及曝光方法,装置制造装置及装置制造方法
机译: 用于接近曝光的形成曝光对象的方法,接近曝光方法和利用接近曝光方法制造元件的方法
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