法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-20
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/06 申请日:20160926
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20160926
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
机译: 旋转元件光谱椭偏仪及旋转元件光谱椭偏仪的测量精度预测方法,执行该记录仪的记录介质存储程序,以及存储在该程序中的计算机程序
机译: 旋转元件椭偏仪和用于旋转元件椭偏仪的测量精度预测的方法,用于执行该记录仪的记录介质存储程序,以及用于执行该方法的存储在介质中的计算机程序
机译: 光谱椭偏仪的焦距调整方法,膜厚测量装置和光谱椭偏仪