法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-13
授权
授权
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T5/50 申请日:20160504
实质审查的生效
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G06T 5/50 申请日:20160504
实质审查的生效
2016-09-21
公开
公开
2016-09-21
公开
公开
机译: 端点检测设备,具有端点化设备的平面化机器以及用于微电子基板组件的机械或化学机械平面化的端点化方法
机译: 端点检测设备,具有端点化设备的平面化机器以及用于微电子基板组件的机械或化学机械平面化的端点化方法
机译: 端点检测设备,具有端点化设备的平面化机器以及用于微电子基板组件的机械或化学机械平面化的端点化方法