一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪

摘要

本发明公开了一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪，其采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度进一步提高，抗干扰性好，且研制难度与成本可以降低；尤其对于大口径面形的测量，相比机械驱动同样的优势更明显；同时，采用了双光纤插芯的方案，用两束点衍射光分别作为参考光与测量光，增大了光纤点衍射干涉仪的可测量镜面相对孔径。