用于色散控制的芯片上集成的光波导结构及色散控制方法

摘要

本发明公开了一种用于色散控制的芯片上集成的光波导结构，包括位于基底上面的波导芯区，波导芯区设有包层；波导芯区由上下两层不同折射率的材料构成；两层不同折射率材料基本等宽，两层不同折射率的材料的折射率比值≥1.15。利用上述芯片上集成的光波导结构的色散控制方法是，首先，由预设的光波导的一组结构尺寸参数，计算得到一马鞍形色散曲线；然后，通过调整波导芯区与基底接触面的宽度、高折射率材料的高度和低折射率材料的高度中的一个或多个参数，从而实现色散控制。本发明通过将之前设计的波导结构的芯区由三层减为两层，减小了色散调控所需的结构参数，降低了对加工条件的要求。并且适用于该波导结构芯区的材料与之前相比更多。