一种无旋转终结点的化学机械研磨装置

摘要

本发明公开了一种无旋转终结点的化学机械研磨装置，包括：研磨头承载机构，其包括环形轨道，并通过支架与立柱固定；研磨头控制总成，滑动设于环形轨道外侧，其内部设有控制其及研磨头运行的研磨头控制单元；非接触式供电系统，包括沿环形轨道设置的供电部以及相对间隙设于研磨头控制总成中的受电部；本发明将现有采用电缆连接的电源传输方式改为非接触式的输电方式，通过向供电部供电以产生磁场，使受电部产生磁感应电流，并输出到研磨头控制单元，以驱动研磨头控制总成沿轨道移动，使得研磨头的移动不再受到线缆长度的影响，可以无限制地沿一个方向持续移动，避免了研磨头空载现象，提高了机台利用效率。