一种ICP刻蚀器件中的加热组件及加热组件设置方法

摘要

一种ICP刻蚀器件中的加热组件及加热组件设置方法，将一根完整的电阻丝组件分层设置，每一层电阻丝部分形成电阻丝层，电阻丝连接部分连接位于相邻电阻丝层内的电阻丝部分，相邻电阻丝层之间设置绝缘材料层，所有电阻丝层上的电阻丝部分形状相同且位置上下重合，使闭合回路的面积无限趋近0。本发明可避免在加热组件形成的闭合回路内产生感应电动势，大大降低了对感应线圈形成的感应磁场的影响，提高了加热的能力和均匀性。