搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置

摘要

探针板搬运装置(10)具备可在台面(G)上自由移动的转向架(11)，和可离接地配置在该转向架(11)上，且在转向架11与探测装置(100)之间搬运探针板C的搬运机构(12)，搬运机构(12)具有基座(13)、在基座(13)上进退移动的臂机构(14)，在基座(13)中设置与探测装置(100)的定位机构(40)，同时，设置与探测装置(100)的固定机构(50)。